真空感應區熔爐 區域熔煉提純爐
- 信息介紹
-
一·設備用途：
1. 提純金屬、半導體、有機和無機的化學材料；
2. 區熔致勻（使一種欲摻入的雜質十分均勻地分布在整個單晶體中）
3. 焊接和測量液體中的擴散率等。
二·設備優點：
1·區熔加熱爐采用往復區熔的方式，閉環溫度控制，可靠的控制熔區的寬度問題；生長室的設計成功解決生長室的污染問題，
2·將加熱及保溫材料均設置在生長腔室外部，采用高純石英作為腔室，同時抽真空；將流動高純氫氣通入腔室，去除腔室中的微量氧，解決氧化的問題；
3·開發高柔性的控制軟件，采用觸摸屏進行操作，任意設置區熔的溫度，區熔的速度及次數。
三·主要技術參數
1.***加熱溫度：1100℃使用溫度：500-1000℃
2.設備功率：25Kw±10%三相380v 50Hz（三相五線制）
3.感應電源功率：15Kw±10%三相380v 50Hz（三相五線制）
4.冷態極限真空度： ≤6.7×10-4Pa5·石墨舟尺寸：Ф70*200mm（內徑*長度，半圓柱）
6·石英管（腔室）尺寸：￠100*1200（根據實際情況做調整）
7·加熱方式：高頻感應加熱
9·區熔行程及速度：位移行程≦1000mm
慢速：1-10mm/h（伺服控制）精度0.01mm
快速：50-200mm/min（伺服控制）可根據客戶需求設計
10.爐內充氣壓力：≤0.03MPa（氬氣）
11·充氣系統： 自動充放氣
12.區熔溫區：1溫區
13.石英管法蘭連接方式：真空水冷密封法蘭形式，留KF25真空接口，法蘭材質304不銹鋼
14.控制方式：觸摸屏+plc
