真空燒結爐主要用于燒結活性和不溶性金屬、硬質合金、磁性材料和不銹鋼。實際上是低壓（減壓）燒結。真空度越高，與中性大氣的距離越近，材料發生的化學反應就越少。
       真空燒結爐的主要優點是：（1）真空有利于吸附氣體的去除，對燒結后期的收縮有明顯的促進作用。（2）真空有利于去除硅、鋁、鎂、鈣及其氧化物等雜質，起到凈化材料的作用。（3）真空可以提高液相燒結的潤濕性，有利于燒結過程中的收縮，改善合金的組織。（4）真空是一種理想的惰性氣體。當其它一次或惰性氣體不合適，或材料容易脫碳和滲碳時，可采用真空燒結爐。（5）減少大氣中有害成分（水、氧、氮等）對產品的污染。例如，將電解氫中的含水量降低到-40℃是困難的，而在真空燒結中，只要在幾百帕的范圍內，真空含量就相當于-40℃的***。

 粘結金屬在真空液相燒結過程中的揮發損失是一個重要問題。這不僅改變和影響了合金的最終成分和結構，而且阻礙了燒結過程本身。粘結金屬的揮發損失主要發生在燒結后期（即保溫階段）。真空燒結爐保溫時間越長，粘結金屬的揮發損失越大。因此，化學雜質、水和其他材料與材料中的碳發生反應，導致一氧化碳與爐內排放。此時，爐壓明顯升高，合金中總碳含量降低。顯然，碳含量的變化取決于原料粉末中的氧含量和燒結過程中的真空度。二者越高，產生一氧化碳的反應越容易，脫碳越嚴重。
真空燒結與氣體保護燒結在真空燒結爐中沒有根本區別，但燒結溫度較低，一般可降低100～150℃，有利于延長燒結爐壽命，降低電能消耗。